超精密真空めっき装置

しんくうマグネトロンスパッタリングめっきききき（両面金属メッキ可能材料）

　　基材規格：PET/PP

　　フィルム幅/フィルム厚：1350 mm/Min.3 um

　　成膜有効幅：最大：1300 mm

　　フィルム原反径/芯管径：最大：500 mm/6インチ

　　張力制御範囲：20 ~ 200 N全幅

　　巻取り制御方式：Pickup Rollerによる張力制御

　　成膜規格：フィルム両面成膜、接着フィルムCr：30 nm/導電膜Cu：1μm/保護フィルムCr：50 nm、≦±5%(幅方向)、Cu:2.0uQcm

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